标准泄漏的校准：压力-体积法

压力体积法的原理简要描述如下：如果抽空的密闭容器有泄漏，气体将通过泄漏进入容器。此时，容纳在容器中的气体pV的量必须随时间增加。如果没有虚拟泄漏，则泄漏孔漏率Q =△（pV）/ At，At为测量时间。如果压力使用者保持不变，则改变体积，并测量体积随时间的变化，则Q = pAV / At，这就是所谓的恒压可变体积法，具体设备如图13所示。 -8（a）。该方法操作困难，设备相对复杂，使用不多。如果容器的体积保持恒定，并且测量压力发生变化，则Q = VAp / At，这是常用的恒定体积和可变压力方法。恒定体积和可变压力方法与〜曲线方法或增压方法相同。如图13-8（b）所示。校准过程如下：s *首先打开阀门Sl，使用机械真空泵抽空泄漏孔的入口端（使P1小于1.33kPa），使用扩散泵抽出容积V，并完全干燥包括容积V的高真空系统。烘烤气体，使其达到极限真空，然后打开阀Sl，并在泄漏孔的入口端以一种大气压的压力发送校准气体。当系统的高真空部分的压力P稳定时，关闭阀S2。如图13-9（a）所示，进入气体的体积V中的压力P2随时间增加。如果泄漏很小，则时间间隔很短，并且将P2保持在100kPa，因此泄漏的泄漏率可以用以下公式表示：Q = 0℃泄漏的泄漏率[Pamiddot，L / s ]，Vmdash，mdash，闭合部分的体积[L]，△tmdash，mdash，测试间隔[s]，△P2mdash，mdash，在时间[Pa]时，体积V的压力变化值[T] ，mdash，测试时间环境温度[K]。当系统中存在放气和泄漏源时，pt曲线如图13-9（b）所示。为了纠正由系统固有的流出和泄漏引起的误差，在泄漏孔的入口端抽空牺牲片。接下来，测量封闭空间中的压力-时间曲线P'2- ￡，系统固有的流出和泄漏曲线。如果测量P'2- ￡时的环境温度为T'，则校正后的泄漏率是p-t曲线方法，具有操作简单，测量范围宽和精度高的特点。使用汞压缩真空计作为压力指示器的校准系统如图13-10所示。图13-11显示了一个标准泄漏校准系统，该系统使用电离真空计作为压力指示器。